下载一种高功率发生器及高功率脉冲的供应方法的技术资料

文档序号:43031562

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种高功率发生器(10)和一种向容性负载,特别是向等离子体过程传输具有高电压值和/或高电流值的脉冲高功率的方法,所述高功率发生器包括:若干低功率发生器(14、16、18),每个低功率发生器(14、16、18)包括储能组件(C1、L...
该专利属于通快许廷格有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通快许廷格有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。