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一种高功率发生器及高功率脉冲的供应方法技术
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文档序号:43031562
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本发明涉及一种高功率发生器(10)和一种向容性负载,特别是向等离子体过程传输具有高电压值和/或高电流值的脉冲高功率的方法,所述高功率发生器包括:若干低功率发生器(14、16、18),每个低功率发生器(14、16、18)包括储能组件(C1、L...
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