温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种硅麦克风装置，其中，其包括硅基片、设置在硅基片上的第一ＭＥＭＳ芯片、第二ＭＥＭＳ芯片及设置在硅基片上且与第一ＭＥＭＳ芯片和第二ＭＥＭＳ芯片分别电连接的数据信号处理单元。本实用新型硅麦克风装置可以消除回音、抑制噪音，大大提高...该专利属于瑞声声学科技（常州）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（常州）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。