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本技术提供一种炉管支撑装置及半导体热处理设备，一种炉管支撑装置包括：一对托板，一对托板间隔设置，每个托板上分别设置有安装座；一对支撑杆，设置在一对安装座之间，支撑杆平行于炉管的长度方向设置，每个支撑杆的两端均与安装座连接；第一调节机构，设置...
该专利属于株洲三一硅能技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过株洲三一硅能技术有限公司授权不得商用。

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