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一种AuSn背金的LED芯片及其制备方法、照明设备技术
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文档序号:42958430
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本发明提供了一种AuSn背金的LED芯片及其制备方法、照明设备,涉及半导体技术领域。在激光切割AuSn背金后,再蒸镀金属层,通过该金属层覆盖切割后的AuSn背金边缘的残渣,以提高AuSn背金表面的平整度,进而提高LED芯片中AuSn背金和S...
该专利属于扬州乾照光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州乾照光电有限公司授权不得商用。
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