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本发明提供了一种标准颗粒晶圆的制备方法，采用标准颗粒样品液先雾化，再垂直喷洒，最后待雾化液滴的溶剂挥发后，即可得到目标设置的标准颗粒晶圆。本发明所述制备方法可以制备得到带有指定数量、指定大小的颗粒(十纳米以上)的标准颗粒晶圆，可以用于颗粒检...
该专利属于无锡卓海科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡卓海科技股份有限公司授权不得商用。

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