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本发明涉及工艺数据处理技术领域，具体包括一种用于优化纳米薄膜制备工艺的方法及系统，包括：构建公开加密数据集，划分寻优空间，通过可信处理端评价参数并降维提取关键参数；获取标记空间编号，定义适应度函数，迭代寻优。构建解空间实施生产控制，反馈优化...
该专利属于朔韦茨环境科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过朔韦茨环境科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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