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本发明涉及一种导热复合组件及其制备方法和应用，该导热复合组件包括碳化硅衬底，以及依次层叠设置于所述碳化硅衬底表面的氮化硅膜层、碳基膜层和金刚石层；其中，所述碳基膜层的材料选自碳纳米管、纳米金刚石或碳纳米管/纳米金刚石复合物中的至少一种。该导...
该专利属于钱塘科技创新中心所有，仅供学习研究参考，未经过钱塘科技创新中心授权不得商用。

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