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本申请公开了一种纳米针组件及光罩微粒去除装置，涉及半导体技术领域。纳米针组件包括驱动件和多个呈线阵排布的纳米去污件，每个纳米去污件包括套筒以及设置于套筒相对两端的纳米针和清洁件，驱动件用于将线阵前端的纳米去污件搬运至线阵尾端，以在线阵尾端通...
该专利属于泉意光罩光电科技（济南）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泉意光罩光电科技（济南）有限公司授权不得商用。

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