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本申请公开了一种MEMS谐振器的示例，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极、第二电极、第三电极以及第四电极；环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，第一电极将多个环形谐振子包围并与环形谐振子间隙...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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