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本发明提供一种等离子体源，能够调整通过腔室内的磁通的方向。等离子体源具备：腔室(10)，生成等离子体；阴极(20)，设置于腔室(10)，发射电子；以及电磁铁(30)，设置在腔室(10)的周围，使磁通通过腔室(10)内，电磁铁(30)具有线圈...
该专利属于日新离子机器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日新离子机器株式会社授权不得商用。

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