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二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法技术
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文档序号:42870903
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本发明公开了一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法,涉及分束器件技术领域。二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件包括至下而上依次层叠设置的石英基底、过渡金属层和二氧化钛结构组,二氧化钛结构组包括分束方向不同的多个微结构单元。本发明实施...
该专利属于珠海迈时光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海迈时光电科技有限公司授权不得商用。
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