温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种研磨载具及研磨设备、研磨方法，研磨载具包括第一载体和第二载体；第一载体上有第一容置槽；多个第二载体可拆卸地设置在第一容置槽内，并绕第一容置槽的轴线等间距布置，第二载体上有第二容置槽，第二容置槽容置目标物。研磨载具应用于研磨设...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。