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本发明涉及半导体设备技术领域，提出了一种循环利用制绒剂的制绒方法。一种循环利用制绒剂的制绒方法，包括如下步骤：将制绒剂放入反应器主槽内，将硅片放入主槽内，每批硅片在主槽内制绒处理后再取出，制绒期间无篮鼓泡、一直溢流，溢流的制绒剂流入副槽，再...
该专利属于宜宾英发德耀科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宜宾英发德耀科技有限公司授权不得商用。

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