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本技术公开了一种碳化硅悬臂桨板，包括呈前后依次分布的固定区、过渡区以及承载区，所述承载区内壁设置有呈上下贯通的U型槽。本技术，通过在承载区设置U型槽，一方面可以减轻承载区自身的重量，另一方面可以减少承载区和硅晶圆片接触面积，从而避免承载区阻...
该专利属于山东硅瓷新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东硅瓷新材料有限公司授权不得商用。

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