温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及超精密静压导轨的测试技术领域，提供一种超精密静压导轨的性能测试装置，包括基座、工作平台、导轨组件、安装座、防护罩、激光干涉组件、位移支架和调整座，基座设有多个气浮隔振件，工作平台与气浮隔振件连接，并位于基座上方，气浮隔振件用于支撑...
该专利属于北京机床研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京机床研究所有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。