下载一种硅基薄膜电阻用陶瓷金属靶材的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种硅基薄膜电阻用陶瓷金属靶材的制备方法,涉及溅射靶材加工领域,其技术方案要点是:步骤一:将TiB<subgt;2</subgt;粉、CrB<subgt;2</subgt;粉、Si粉、Cr粉、SiC粉、C...
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