下载一种半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:42723750

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本发明公开了一种半导体结构及其制备方法,其中半导体结构包括:第一半导体层;第二半导体层,设置在所述第一半导体层上,所述第一半导体层和所述第二半导体层构成异质结构;栅极,设置在所述第二半导体层的栅极区域上;在所述栅极区域,沿着所述栅极的延伸方...
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