下载阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统的技术资料

文档序号:42705076

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本申请提供一种阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统,涉及射频技术领域,阻抗匹配器包括第一匹配单元、第二匹配单元以及第三匹配单元;第一匹配单元、第二匹配单元以及第三匹配单元均具有可调节的电抗值,在对第一射频源、第二射频源以及负载进行阻抗匹...
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