下载微光衍射元件补偿方法、系统、光学装置及存储介质的技术资料

文档序号:42698425

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本发明涉及微光衍射技术领域,具体为一种微光衍射元件补偿方法、系统、光学装置及存储介质。所述补偿方法包括以下步骤:获取所述微光衍射元件的实时温度分布信息;对所述温度分布信息进行预处理,消除噪声并优化所述温度分布信息的温度数据;基于优化后的所述...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

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