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本发明实施例提供一种加热盘组件及晶圆加工设备，加热盘组件包括加热盘和支撑柱，加热盘上设置有安装孔，支撑柱安装于安装孔中，在安装孔外侧和/或顶部设置夹紧壁，通过夹紧壁卡住安装孔内的支撑柱，支撑柱无法跳出加热盘，使得支撑柱能够稳定的支撑晶圆，在...
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