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一种用于蓝宝石晶片退火工序的退火炉及高效退火方法，属于蓝宝石退火技术领域，本发明为了解决现有退火设备只能对批量厚度一致的蓝宝石晶片进行退火，十分影响蓝宝石晶片退火效率的问题，本申请包括炉架和多个退火单元，炉架的底部设有支腿结构，炉架内部通过...
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