下载一种碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法的技术资料

文档序号:42666930

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本发明涉及碳化硅内衬制备技术领域,具体为一种碳化硅内衬制备用合成炉,包括:安装座,所述安装座上固定连接有固定架,所述固定架上转动连接有外炉体,所述外炉体的前端转动连接有炉门;所述炉门的前端安装有内炉体;该碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法,...
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