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本发明涉及一种确定带电粒子装置中电子光学组件的对准的方法。该带电粒子装置包括：孔径阵列和检测器，该检测器被配置为检测与穿过孔径阵列中的对应的孔径的束波相对应的带电粒子。该方法包括：在孔径阵列的一部分之上扫描孔径阵列的平面中的每个束波，在孔径...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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