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本申请公开了一种MEMS谐振器，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极和第二电极；环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有连接梁，至少一连接梁与一位于环形阵列内的锚固件固...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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