温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明为一种标兵式晶粒挑拣方法，首先提供一布满晶粒的晶圆，通过ＣＣＤ系统（影像辨识与定位系统），取得布满晶粒的晶圆图形（ｗａｆｅｒ？ｍａｐ），将晶圆图形划分成复数个划分区域，并纪录每个晶粒（包括标兵晶粒）间的相对位置以作为在晶粒挑拣过程中晶...
该专利属于威控自动化机械股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威控自动化机械股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。