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本发明涉及微观检测技术领域,且公开了一种芯片微观缺陷亮点检测设备,包括操作台、检测组件,所述检测组件包括安装架,所述安装架滑动安装在操作台上,所述安装架上安装有挡光板,所述安装架上滑动安装有滚珠滑块,所述滚珠滑块上安装有显微镜,所述安装架上...该专利属于广东金鉴实验室科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东金鉴实验室科技有限公司授权不得商用。
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