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本申请提供一种抛光垫修整装置、最终抛设备及抛光垫修整方法，属于硅片抛光技术领域；包括：悬臂及承载机构，承载机构包括第一安装座及修整件，第一安装座具有至少一移动自由度，第一安装座具有多个；修整件对应安装于所述第一安装座，修整件具有一修整面，修...
该专利属于浙江求是半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司授权不得商用。

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