下载电极引入机构的技术资料

文档序号:4251681

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一种电极引入机构,是装设于一真空腔设备,该电极引入机构包含有:二导杆,设于该真空腔设备且相互平行;一支架,具有对应该二导杆数量的贯孔,所述贯孔分别供该二导杆穿设;一电极装置,设于该支架且具有一电极部;一驱动装置,是具有一本体以及一设于该本体...
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