下载垂直型GaN器件及其制备方法的技术资料

文档序号:42492110

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本申请公开了一种垂直型GaN器件及其制备方法,器件包括n型衬底、漏极、n型GaN外延层、电介质层,n型GaN外延层中包含从上向下延伸且间隔排布的第一p型GaN区域和第二p型GaN区域,第一p型GaN区域中包含第一n型GaN区域,第二p型Ga...
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