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本公开涉及确定使用光刻工艺在衬底上形成的目标结构的信息。在一种布置中，提供具有悬臂和探头元件的悬臂探头。探头元件从悬臂向目标结构延伸。在悬臂探头中产生超声波。超声波通过探头元件传播到目标结构中，并从目标结构反射回到探头元件中或回到从悬臂延伸...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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