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一种硅单晶的生长方法技术
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文档序号:42466414
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本发明公开一种硅单晶的生长方法,包括如下步骤:将硅料放置在长晶炉内的坩埚中;对坩埚进行加热,使得坩埚内的硅料融为硅溶液,并确定坩埚内硅溶液的液面位置;利用磁场发生器向硅溶液施加超导磁场,并即时调整磁场发生器的位置,使得超导磁场的最强区域位于...
该专利属于江苏卓远半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏卓远半导体有限公司授权不得商用。
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