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本技术涉及硅片加工技术领域，特别涉及一种硅片加工转盘机构。其包括安装板、马达、回转架、吸附治具、真空气管，马达固定在安装板上，马达的输出轴连接回转架的中心，回转架相对称的两端分别至少连接有一个吸附治具，吸附治具内部设有真空腔，吸附治具表面设...
该专利属于深圳市圭华智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市圭华智能科技有限公司授权不得商用。

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