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本发明公开了半导体加工技术领域的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构,包括底板,所述底板上固定连接有侧壁一,所述底板上固定连接有侧壁二,所述底板上固定连接有侧壁三,所述侧壁一上固定连接有多个长挡板,所述侧壁一上固定连接有抓...该专利属于日荣半导体(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日荣半导体(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了半导体加工技术领域的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构,包括底板,所述底板上固定连接有侧壁一,所述底板上固定连接有侧壁二,所述底板上固定连接有侧壁三,所述侧壁一上固定连接有多个长挡板,所述侧壁一上固定连接有抓...