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本技术公开了一种真空传输闸板阀机构，包括连接于真空腔室一侧的导轨、与所述导轨滑动连接的滑块以及与所述滑块连接的推杆，所述推杆的一端连接有直线执行器，另一端连接有闸板，所述直线执行器的输出端与所述推杆转动连接，直线执行器用于驱动所述推杆移动；...
该专利属于无锡亘芯悦科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡亘芯悦科技有限公司授权不得商用。

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