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本技术涉及OCA贴合制程过程设备技术领域，具体涉及一种硬对硬真空腔体，包括上真空腔体、下真空体，该下真空体上安装有上真空腔体；所述上真空腔体包括上腔体，该上腔体的顶面四周安装有四根直线轴承导柱，四根直线轴承导柱上安装有中间水平板，该中间水平...
该专利属于深圳市特信自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市特信自动化科技有限公司授权不得商用。

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