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本申请提供一种小尺寸充油型高温差压传感器芯体及制作方法，涉及压力测量装置技术领域，芯体包括外壳组件，外壳组件中具有若干个的腔体，外壳组件内部的若干个腔体中均填充有苯甲基硅油，外壳组件为圆柱形结构；腔内硅油注入组件，腔内硅油注入组件部分内嵌在...
该专利属于沈阳仪表科学研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳仪表科学研究院有限公司授权不得商用。

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