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本发明提供了一种外延反应器重启方法及外延生长系统、外延硅晶圆，属于半导体制造技术领域。外延生长系统包括：外延反应器腔室；与所述外延反应器腔室连通的废气管路；水分测试仪，包括水分测试样气进气管路和水分测试样气出气管路；连接所述废气管路和所述水...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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