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本发明公开了一种半导体晶圆静电吸盘吸附力检测装置及检测方法，属于半导体技术领域，其包括：静电吸盘，其上方设置有机架，所述机架与静电吸盘之间设置有安装板；伸缩缸，平行设置在所述机架上，所述伸缩缸的伸缩端与所述安装板相连接；供液盘机构，同轴设置...
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