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本发明涉及直拉重掺锑单晶的掺杂方法及掺杂装置。掺杂装置包括石英罩和小石英坩埚，将盛有掺杂剂锑的小石英坩埚悬挂在石英罩内，小石英坩埚的底部设有一个小孔。采用该掺杂装置，在硅料熔化完成后，将掺杂剂锑有效的掺入硅熔体中，在掺杂过程中，掺杂剂锑从小...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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