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公开了用于制造具有PZT材料的厚膜(10)的MIM结构体的工艺，其中，通过交替沉积PZT浆料(10.1)和PZT溶液(10.2)，将PZT材料沉积在基板(2、4、6、8)上。此外，公开了包含用这样的工艺制造的MIM致动器的触觉设备。...
该专利属于卢森堡科学技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过卢森堡科学技术研究院授权不得商用。

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