下载一种高速比公自转真空镀膜转架结构的技术资料

文档序号:42311475

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本发明公开了一种高速比公自转真空镀膜转架结构,由六部分组成,分别为动力输入装置、转架公转装置、自转一级传动齿轮组、自转二级传动齿轮组、自转三级传动齿轮组和转架自转装置,所述动力输入装置固定安装在真空腔体上,所述动力输入装置通过转架公转装置为...
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