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本发明提出一种机台，包含用以承载待处理物件的载台、用以输送液体的液体管、用以输送气体的气体管、混合装置以及流体输出装置。混合装置用以混合液体及气体而形成气液混合流体，其中该混合装置包含耦接该液体管的第一入口部分、耦接该气体管的第二入口部分及...
该专利属于友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

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