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干式真空泵(1)具备净化气体供给路径(9)。在泵室(6)的固定侧的室内端面(63)与罗茨转子(24)的转子端面(243)之间沿转子端面(243)的外周缘部分形成有能够维持气密性的微小间隙部分，并形成有由微小间隙部分包围的更大面积的间隙部分(...
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