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本技术公开了一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，包括炉膛，炉膛的顶部设置有密封板，炉膛的内部设置有金属筒或石墨筒(内部碳化钽涂层或内部钽小坩埚)，金属筒的内部设置有侧隔热外屏，侧隔热外屏的内部固定连接有侧隔热内屏。本技术通过图中为炉膛和密封板...
该专利属于哈尔滨化兴软控科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨化兴软控科技有限公司授权不得商用。

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