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本技术涉及陀螺仪技术领域，公开一种MEMS三轴陀螺仪，包括驱动固定弹性件、驱动锚点、多个驱动质量块、多个驱动耦合弹性件、梳齿驱动电极、多个耦合组件、多个连接框组件、中心锚点及多个梳齿驱动检测电极，该MEMS三轴陀螺仪在驱动状态下能够驱动质量...
该专利属于成都博纳神梭科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都博纳神梭科技发展有限公司授权不得商用。

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