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本申请属于半导体加工技术领域，涉及一种夹具安装机构，用于安装夹具，夹具的底面设有定位凸台，夹具安装机构包括加热底座、热转接件、限位件与夹紧组件；热转接件装设于加热底座上，限位件装设于加热底座上，夹紧组件活动装设于加热底座上，其中，限位件与夹...
该专利属于深圳新益昌开玖自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新益昌开玖自动化设备有限公司授权不得商用。

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