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本发明公开了一种碳化硅单晶衬底片专用的外观自动分选装置，涉及第三代半导体材料制造技术领域，包括大支架，大支架上设有晶片卡塞盒、晶片分类存放卡塞盒、检测平台、无影光源、强光源、扫码装置、测厚装置、检测组件和扫描运动机构，检测平台固定在大支架的...
该专利属于山东粤海金半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东粤海金半导体科技有限公司授权不得商用。

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