下载阀设备和具有阀设备的真空处理设备的技术资料

文档序号:42104920

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本发明涉及一种用于真空应用的阀设备(10),阀设备(10)包括界定阀室(22)的阀壳体(20),阀室包括真空供应开口(28)、抽吸开口(32)和通风开口(36);包括阀体(40),阀体(40)被布置在阀室中,并且可以被沿着抽吸位置和通风位置...
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