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MEMS振荡器及电子设备制造技术
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文档序号:42100243
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本申请提供一种MEMS(micro‑electro‑mechanical system,微电子机械系统)振荡器及电子设备,涉及振荡器领域,能够提高MEMS振荡器的频率稳定性。该MEMS振荡器中包括第一基板、MEMS芯片、第二加热器。其中,M...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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