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具有音圈的线性压力进给研磨制造技术
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下载具有音圈的线性压力进给研磨的技术资料
文档序号:4207168
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具有音圈的线性压力进给研磨,旨在提供一种用于研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的设备。该设备包括研磨单元,该研磨单元构造成在对准位置时从该边缘去除预定量的材料。该研磨单元施加垂直于该边缘的预定的力。空气支承滑动系统与该研磨单元联接。该空气支承...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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